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淨化工程

光伏新能源淨化工程

作者:admin    發布時間:2020-08-05 09:06     瀏覽次數 :


1、光伏新能源淨化工程介紹
光伏新能源淨化工程是由光伏材料生產加工而成的一片片像浴室鏡子一樣明亮的圓片,是生產製造半導體材料集成電路芯片集成ic的原料。現階段微電子技術產業鏈迅猛發展,集成電路芯片技術性已邁進0.18μm下列的時期,巨大地刺激性了光伏新能源淨化工程的發展趨勢,另外對光伏新能源淨化工程的技術參數的規定也是有很大的提升,因而光伏新能源淨化工程的發展前途十分開朗。
光伏
1.1光伏新能源淨化工程的生產製造生產流程
從大的層麵而言,光伏新能源淨化工程生產製造包含矽單晶棒生產製造和光伏新能源淨化工程生產製造兩絕大多數,細分化為下列幾個關鍵工藝流程:
單晶體棒生長發育-單晶體棒裁剪和檢驗-直徑切削-切成片-倒圓角(圓邊)-碾磨/碾磨片查驗-蝕刻工藝(有機化學蝕刻工藝、LP-CVD+AP-CVD等加工工藝)-PTA調質處理-反麵損害解決-打磨拋光(ML粗拋、ML精拋)-清洗-質量查驗-清潔包裝
從單晶體棒生長發育到直徑切削為矽單晶棒生產製造工藝流程,切成片之後的步驟為光伏新能源淨化工程生產製造工藝流程。下邊以某日資矽單晶廠為例子,詳細介紹光伏新能源淨化工程生產製造工藝流程的空氣淨化係統係統軟件和自動化控製係統軟件的方案設計。
1.2各生產製造工藝流程自然環境操縱規定
某矽單晶廠生產製造4~6英寸光伏新能源淨化工程,生產量為480萬片/年。此企業光伏新能源淨化工程運用於分立器件、輸出功率元器件和特殊集成電路芯片的製做。
2、空氣淨化係統係統軟件
iwuchen空氣淨化係統的設計方案是與加工工藝的合理布局、生產製造的步驟緊密融合的。不一樣種類、不一樣主要用途的工業廠房空氣淨化係統係統軟件都各有特色,下邊來詳細介紹光伏新能源淨化工程生產製造工藝流程的空氣淨化係統係統軟件計劃方案。
2.1空調機組
1切成片室、倒圓角室、碾磨片室僅有溫控規定,設風冷模塊分體式櫃機空調機(PAC)來確保屋子溫度規定,房間內機就近原則置放在生產車間內,接風洗塵管,選用兩層百葉風口側送風方法;空調室外機置放在平屋麵上。切成片室的風量很大,新風選用立即揮發式熱泵機組型房頂空調S1-1和S1-2來填補。生產車間有防汙規定,風冷模塊分體式櫃機空調機送風口處設中效過濾器(空氣塵記數高效率:≥60%,針對≥1μm顆粒),一樣房頂式空調應設二級過濾裝置。
其電路原理圖見圖:
光伏新能源潔淨工程基本原理
2爐室、BSD室僅有溫控規定,設風冷式電加熱分體式櫃機空調機(PAL)來確保屋子溫度規定,房間內機就近原則置放在生產車間內,接風洗塵管,選用正方形散流器頂送風方法;空調室外機置放在平屋麵上。新風由鄰近淨化室正壓力回來。生產車間有防汙規定,風冷式電加熱分體式櫃機空調機送風口處設中效過濾器(空氣塵記數高效率:≥60%,針對≥1μm顆粒)。
3磨片診斷室有溫度和環境濕度操縱規定,設風冷式電加熱分體式櫃機空調機(PAL)來確保屋子溫度規定,房間內機就近原則置放在生產車間內,接風洗塵管,選用正方形散流器頂送風方法;空調室外機置放在平屋麵上。新風經新風機組(MAU-1、2)解決後,引至送風管上送至房間內,空氣濕度由新風機組來確保。新風機組是與淨化設備同用的。生產車間有防汙規定,風冷式電加熱分體式櫃機空調機送風口處設中效過濾器(空氣塵記數高效率:≥60%,針對≥1μm顆粒),新風機組下設粗、中效過濾器。
2.2淨化設備
光伏新能源潔淨工程係統軟件用的新風製冷機組(MAU)和循環係統製冷機組(AHU)的製冷劑選用6-11℃的冷藏水,加溫選用0.2MPa蒸氣,增濕選用0.1MPa的清潔蒸氣增濕,清潔蒸氣由純淨水經清潔燃氣蒸汽鍋爐造成。
1CP室清潔級別為7級,換風取名為三十次/鍾頭,CP室工藝技術用酸量較多,選用全新風製冷機組(MAU-3)+高效送風口送風口(HEP-ABOX)的中央空調方法。其氣旋步驟為:新風通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-表冷器-電加熱器-清潔蒸氣增濕-送風機-送風管-高效送風口送風-潔淨區。
2ML室清潔級別為7級,換風取名為三十次/鍾頭,選用新風機組(MAU)+循環係統發電機組(AHU)+高效送風口送風口(HEP-ABOX)的中央空調方法。新風接自其他係統軟件同用MAU-1、2新風組。
3CP/CVD室、LP/CVD室、清潔包裝間清潔級別為6級,換風取名為50次/鍾頭,選用新風機組(MAU)+循環係統發電機組(AHU)+高效送風口送風口(HEP-ABOX)的中央空調方法。新風接自其他係統軟件同用的MAU-1、2新風組。
47級、6級的淨化室選用的氣旋方式為頂端高效送風口送風口送風,屋子側下百葉風口送風。其氣旋步驟為:新送風混和!中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-高效送風口送風口-潔淨區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。
百級潔淨室
5清洗室、質量診斷室清潔級別為7級,選用新風機組(MAU)+循環係統發電機組(AHU)+離心風機過濾裝置模塊(FFU))的中央空調方法。選用的氣旋方式為頂端FFU送風,屋子側下百葉風口送風。FFU布滿率是33%,清洗室、質量診斷室對NH4+、SQx濃度值有規定,需要在循環係統發電機組(AHU)內加設有機化學過濾裝置。5級清潔間的氣旋步驟為:新送風混和-有機化學過濾裝置(NH4+)-有機化學過濾裝置(SQx)-中效過濾器-表冷器-送風機-送風管-送風靜壓箱-離心風機過濾裝置模塊(FFU)-潔淨區-屋子側下百葉窗送風口-回通風風管-新送風混和。新風接自其他係統軟件同用的MAU-1、2新風組。
6除CP戶外的淨化室所需新風選用2台新風機組(MAU-1、2)集中化運輸,新風集中化運輸後送至各循環係統發電機組(AHU)。其氣旋步驟為:新風通道-初效過濾器-中效過濾器-預電加熱器-表冷器-電加熱器-清潔蒸氣增濕-送風機-送風管-各循環係統製冷機組(AHU)。
7CP室、ML室、清洗室用酸量相對性較多,CP室、ML房間內的高效送風口送風口的擴散板需選用不鏽鋼板材製做,清洗房間內的FFU的鋼網需選用不鏽鋼板材製做。
8另特別注意,質量診斷室依據加工工藝規定需選用灰黑色板牆、灰黑色現澆板,相對選用灰黑色送風口,FFU的鋼網需選用灰黑色鋼網。
3、淨化設備的中央空調自動控製係統
新風機組(MAU-1、2)選用直流變頻離心風機,由總送風管上的負壓感應器來操縱軟啟動器。在連接每一個排風量及正壓力操縱循環係統發電機組(AHU)的新風管上均設定電動蝶閥,由各淨化室的正壓力值來調整電動蝶閥的開啟度,使淨化室的正壓力值不隨生產線設備的風量的轉變而轉變,電動蝶閥的開啟度轉變造成總送風管上的負壓轉變,依據其預設值調整AHU-1、2的離心風機頻率,以做到操縱目地。
3.1潔淨車間的溫度濕度操縱
清潔生產線的環境濕度是由新風機組MAU-1、2來確保,操縱新風機組送風情況點,依據送風情況預設值來調整幹蒸氣空氣加濕器的電動式電動執行器和表冷器及電加熱器回水管上的電動二通閥的開啟度。含濕量DPT由查驗室內濕度光敏電阻器HE持續整定值。
清潔生產線的溫度是由循環係統發電機組AHU來確保的,依據室溫來調整表冷器回水管上的電動二通閥的開啟度。
3.2製冷控製係統
冷藏水係統軟件層麵選用一級泵,用負載操縱的方式來明確製冷機組及相對離心水泵、玻璃鋼冷卻塔的打開數量。依據設置供、智能回水壓力差來自動控製係統供、智能回水負責人中間壓力差總流量進氣閥。

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